温等离子体技术在气态污染物治理方面优势显著。其基本原理是在电场的加速作用下，产生高能电子，当电子平均能量超过目标治理物分子化学键能时，分子键断裂，达到气态污染物的目的。
喷漆废气中的三苯浓度一般低于300mg/m3低浓度、大风量的有机废气治理，采用催化燃烧法(适用于浓度大于500mg/m3)处理不合适,所以只能用低温等离子废气处理设备来处理这种类型的工业废气。(适应于家具厂、鞋厂、五金厂、电子厂、工艺品厂、印染厂、塑料制品厂等等)同样，等离子技术处理涂装系统废气，油墨废气，高压静电式的印刷印染废气都有
低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，由电子、离子、自由基和中性粒子组成。低温等离子体产品利用螺旋波低温冷光技术产生的高能离子束和电子束形成的低温等离子体，以每秒800万次-5000万次的速度反复轰击异味气体分子，去、电离、裂解废气中的各种成分，从而发生氧化等一系列的化学反应。等离子处理废气的原理如下：
1. 等离子通电后会形成一个1.5万伏的高压电场，废气在进入的时候被电离，分子键断裂，废气分子被分解成高能电子。
2. 氧气O2被电离成O- （游离态的氧原子），因游离氧所携正负电子不平衡，所以需要与氧分子结合，进而产生臭氧O3。
3. 废气电子在O3 的作用下，被氧化成CO2 和H2O
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